Lent fotocromàtica SETO 1.67 SHMC

1) Què és el recobriment giratori?

El recobriment per centrifugació és un procediment utilitzat per dipositar pel·lícules primes uniformes sobre substrats plans.Normalment s'aplica una petita quantitat de material de recobriment al centre del substrat, que gira a baixa velocitat o no gira en absolut.A continuació, es fa girar el substrat a una velocitat de fins a 10.000 rpm per estendre el material de recobriment per força centrífuga.Una màquina que s'utilitza per al recobriment giratori s'anomena spin coater, o simplement spinner.
La rotació es continua mentre el fluid gira de les vores del substrat, fins que s'aconsegueix el gruix desitjat de la pel·lícula.El dissolvent aplicat sol ser volàtil i simultàniament s'evapora.Com més gran sigui la velocitat angular de gir, més fina serà la pel·lícula.El gruix de la pel·lícula també depèn de la viscositat i la concentració de la solució i del dissolvent.Emslie et al. va fer una anàlisi teòrica pionera del recobriment per gir, i ha estat ampliada per molts autors posteriors (incloent Wilson et al., que van estudiar la velocitat d'expansió en el recobriment per gir; i Danglad-Flores et al., que van trobar un descripció universal per predir el gruix de la pel·lícula dipositada).
El recobriment de centrifugació s'utilitza àmpliament en la microfabricació de capes d'òxids funcionals sobre substrats de vidre o cristall simple mitjançant precursors sol-gel, on es pot utilitzar per crear pel·lícules primes uniformes amb gruixos a nanoescala.[6]S'utilitza intensament en fotolitografia, per dipositar capes de fotoresist d'aproximadament 1 micròmetre de gruix.El fotoresist normalment es gira a 20 a 80 revolucions per segon durant 30 a 60 segons.També s'utilitza àmpliament per a la fabricació d'estructures fotòniques planes fetes de polímers.
Un dels avantatges de girar pel·lícules primes és la uniformitat del gruix de la pel·lícula.A causa de l'autoanivellament, els gruixos no varien més de l'1%.Tanmateix, el revestiment de pel·lícules més gruixudes de polímers i fotoresistències pot donar lloc a perles de vora relativament grans la planarització de les quals té límits físics.